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精密運動控制平臺

Z 軸垂直升降平臺 特點:分辨率 0.1μm , 精度:重復精度可達: ±1μm 應用:3C/半導體精準定位組裝、檢測、光學對焦、糾偏、校準、AOI 、生物醫療

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